Центрифуги для нанесения фоторезиста spinNXG

Центрифуги серии spinNXG (производитель Apex Instruments Co. Pvt. Ltd., Калькутта, Индия; поставка в РФ — компания Промэнерголаб) предназначены для центрифужного нанесения тонких плёнок (метод spin coating) на стеклянные, кремниевые, металлические и полупроводниковые подложки диаметром до двух дюймов. Метод применяется в фотолитографии для нанесения фоторезистов AZ-серии, SU-8, S1813; в золь-гель синтезе оксидных плёнок (TiO₂, ZnO, Co₃O₄, ITO); в производстве перовскитных и органических солнечных элементов; при изготовлении MEMS-структур и микрофлюидных чипов. Линейка включает 8 моделей spinNXG (P1, P1H, P1A, P1AH, P1AC, P1ACH, P2, P2H) с диапазоном скорости вращения 100–10 000 об/мин, точностью поддержания скорости <±1 % и программированием от 2 × 10 до 50 × 100 шагов в зависимости от модели; в комплекте — безмасляный вакуумный насос Rocker 410 и вакуумный держатель диаметром 25 мм. Дополнительно можно включить в комплект поставки вакуумные держатели других типоразмеров.