Перечисленное ниже — самостоятельные устройства, которые продаются отдельно на czl.ru. Мы рекомендуем их именно для задач центрифужного нанесения: удержание подложки, подача раствора, УФ-отверждение и температурный контроль.
Создаёт разрежение для фиксации подложки на держателе во время вращения.
Rocker Scientific
Стандартный насос для удержания подложки в большинстве задач — для подложек без агрессивных остатков растворителей. Поставляется в базовой комплектации спин-коатера; также доступен как отдельная позиция (запасной/второй насос).
Rocker Scientific
Альтернатива Rocker 410 для работы с подложками, на которых остаются агрессивные жидкости — PGMEA, хлорбензол, толуол, ДМФА, N-метилпирролидон, кислотные золь-гель прекурсоры. Пары этих сред через центральное отверстие держателя попадают в вакуумную линию, и без PTFE-стойкого насоса вызывают коррозию рабочей мембраны.
Выбирайте по требуемому уровню автоматизации дозирования.
E-Spin Nanotech
Полная автоматизация дозирования раствора фоторезиста или золь-гель прекурсора. Рекомендуется для валидируемых процессов (фарма R&D), серий однотипных подложек, перовскитных протоколов с критичным временем введения антирастворителя.
MICROLIT
Точное ручное / полуавтоматическое дозирование раствора фоторезиста или золь-гель прекурсора. Бюджетная альтернатива микрофлюидному насосу MF-1 — когда полная автоматизация не требуется, а нужна высокая точность объёма и удобство переноса методики между лабораториями.
254 нм — для глубокой полимеризации; 365 нм — для SU-8 и UV-A-композиций.
APEX (Apex Instruments)
Для отверждения фоторезистов и УФ-C-чувствительных композиций с использованием коротковолнового излучения 254 нм — разрыв связей в фотоинициаторах глубокой полимеризации, обработка поверхностей в микроэлектронике.
APEX (Apex Instruments)
Для фотополимеризации SU-8 и большинства промышленных фотополимеров, работающих в УФ-A-диапазоне. Существенно более мощное излучение (49,6 мВт/см² против 6,82 у C1) и большая длина волны 365 нм, безопасная для большинства материалов.
Подключается к H-моделям spinNXG для прецизионного температурного режима. Отдельное устройство, а не опция в строгом смысле.
APEX (Apex Instruments)
Методики с контролем температуры подложки — термочувствительные перовскитные слои, золь-гель плёнки с контролируемой сушкой. Работает в связке с H-моделями spinNXG (P1H, P1AH, P1ACH, P2H).
Опишите методику — материал, подложку, требования к автоматизации — подберём центрифугу и сопутствующее оборудование.